题目：MEMS Accelerometers and Readout Circuits

报告人：许永平博士

时间：2019年5月8日上午10：00

地点：武汉大学雅各楼116室

欢迎各位师生踊跃参加！

摘要：

MEMS惯性传感器，即加速度计和陀螺仪，用于测量物体的线加速度和角速率。与传统的惯性传感器相比，MEMS惯性传感器具有体积小、重量轻、功耗低、成本低等优点。MEMS惯性传感器应用广泛，如游戏、控制、定位和导航。其中，导航应用要求高分辨率和低零偏不稳定性。现有的MEMS惯性传感器尚未满足惯性导航的这些要求。本文将首先介绍基于位移和力传感的MEMS加速度计的概念，然后介绍一种具有CMOS读出电路的高性能MEMS振荡加速度计，它具有亚μg的零偏不稳定性和μg的噪声水平。本报告将重点讨论加速度计的读出电路设计与开发。

主讲人介绍：

许永平博士，1977年毕业于中国南京大学，1994年在澳大利亚新南威尔士大学获得电气工程博士学位。1978年至1987年在中国青岛半导体研究所工作，任设计工程师、研发经理、主任。1996年至1998年，他在澳大利亚阿德莱德南大学任讲师。他于1998年加入新加坡国立大学电气与计算机工程系，现为副教授。他的研究方向包括MEMS、传感器和生物医学应用的集成电路设计。已出版著作一部，发表论文100余篇，获美国授权专利6项。

自2017年起任超大规模集成电路（VLSI）研讨会技术委员会委员，2014年至2018年IEEE国际固态电路会议（ISSCC）的国际技术委员会委员，2009年至2013年IEEE亚洲固态电路会议（A-SSCC）的技术委员会委员。2013年担任A-SSCC组委会主席，2014年起担任A-SSCC指导委员会委员。许博士是《IEEE固态电路杂志》（ISSCC 2018年特刊）的客座编辑，也是《IET工程杂志》的副主编。他是IEEE固态电路学会2017-2018年杰出讲师。